스핀코터 (Spin coater)
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국내 선호도 1위! 초정밀 그래픽모드 탑재 스핀코터

Spin Coater ACE-200, Top-8, ISC-4


특허취득 스핀코터 (Spin Coater)

스핀코터(Spin Coater) ACE-200 과 Top-8 은 스핀코팅 (spin coating)시에 RPM속도와 그 속도에 맞는 그래프를 육안으로 확인할 수 있는 그래픽모드 관련하여 특허취득

(특허제 10-0936100호) 이 그래픽모드로 인하여 코팅데이터값을 쉽고 빠르게 얻을 수 있습니다.



0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 가능한 초정밀 스핀코터 (Spin Coater)

당사가 제조하는 초정밀 그래픽 모드 스핀코터는 세계 최초로 특허를 받고

국내 기업체의 연구소 및 벤처기업, 각 대학의 이공대 연구실, 국가기관 연구소에서 사용되고 있으며, 전 세계에 수출하고 있는 장비입니다.


 

  • 본체, Vacuum Chuck, Oiless Vacuum Pump 각 1EA, 1SET *

  • 샘플사이즈에 맞추어 Vacuum Chuck 제작 *
     

보울, 커버, 배큠척 등을 테프론등으로 변경하여 제작 가능



● 모델명 : ACE-200, Top-8, ISC-4

 

Features/Advantages (특징/장점)

  • 0 또는 50 ~ 8,000 R.P.M까지 스피드를 자유롭게 조정 가능

    • Speed R.P.M : Up & Down Free: 3,000 / Sec

  • controller 보드 하나로 스핀코터를 구현하므로 고장이 거의없고, A/S 지원

    • A/S 3일이내, 내부, 외부 장치 Compact화 구현

  • 스핀코터의 외형 높이를 최대한 낮게 제조해서 글로브 박스안에 놓고도 용이하게 사용 가능

    • 높이 240 mm: 글로브 박스에 적용에도 최적

  • 100 스탭, 100 프로그램을 사용 하므로서 자유롭게 원하시는 스핀코터 데이터를 획득

    • 실시간 그래픽으로 스탭별 코팅과정을 볼 수 있습니다. 세계최초 특허 획득

  • Spin Controller 의 프로그램으로 스핀코터 동작시 초보자도 쉽게 사용 가능

    • 디지털 방식 스핀코터 채택

  • 스핀코터의 볼 청소 용이

  • 스핀코터의 안전장치

    • 버큠이 척과 시료에 안잡히면 작동이 안되어 운영자의 안전을 최우선으로 고려하여 개발, 생산했습니다.

  • 스핀코터 셋팅시킨 R.P.M 수치와 실제로 돌아가는 R.P.M을 볼 수 있어 회전 정밀도를 순간, 순간 확인할 수 있습니다.

    • 고 정밀도 스핀코터 실현화

  • spin motor + power supply + simple controller (board)로 구성

  • 코팅의 테이터를 쉽게 구할 수 있어 연구 개발에 큰 기여

  • 저속, 고속 R.P.M 에도 안정적으로 코팅 구현

    • 50 R.P.M 에도 여유롭게 작동, 고 R.P.M 에도 이상 없음

  • 저렴한 가격, 간단한 설계, 저소음, 저진동

  • 스핀코터의 정밀도

    • 허용오차 土1rpm 으로 매우 뛰어난 회전 정밀도

  • 회전수 표시,신뢰성이 높은 실회전수 표시 / LCD상 그래픽으로 스핀 구동을 실시간 체크 가능

    • 코팅 데이터를 쉽고 빠르게 구현하여 연구, 개발 시간이 단축

  • 스핀코터 프로그램은 최대 100스텝, 100프로그램 입력 가능

  • 스핀코터의 회전 속도 가속, 감속 (acceleration & deceleration) 자유롭게 구성 (최대 초당 3,000 R.P.M 가속, 가감)

  • 급 정지 가능

    • 여러가지 시료 및 포토레지스트, 화학약품에 대응

  • 위치 제어 기능으로 정지시 원하는 위치에 정지

    • 시료 Handling에도 최적

  • CE 인증 마크 획득

 

초 정밀 그래픽모드 스핀코터 ( Spin coater ) : ACE-200 (컴팩트형)

  • 고성능. 컴퍀트 타입 스핀코터 (SPIN COATER)

  • 고속 (8000RPM) 에서뿐만 아니라, 저속(50RPM)에서도 고정밀도 유지하는 Precision Spin Coater

  • 실시간 그래픽모드(Graphic Mode) 탑재(특허취득)하여 스핀코팅(Spin Coating) 데이터값 실시간 확인가능

  • 저소음 저진동 (BLDC 모터)

  • 최대 100프로그램 100스텝 입력가능

  • 1초당 최대 3,000RPM 가속 가감

  • 급정지시 위치제어 기능 탁월

  • 저속고속 RPM에도 안정적으로 코팅

  • 관리비용(Running Cost) 저렴

  • 콤팩트한 설계로 유지보수 및 A/S간단

 

초 정밀 그래픽모드 중형 스핀코터(Spin coater) : Top-8

  • 고성능. 컴퍀트 타입 스핀코터

  • 고속 (5000RPM) 에서뿐만 아니라, 저속(50RPM)에서도 고정밀도 유지하는 Precision Spin Coater

  • 실시간 그래픽모드(Graphic Mode) 탑재(특허취득)하여 코팅 데이터값 실시간 확인가능

  • 저소음 저진동 (BLDC 모터)

  • 최대 100프로그램 100스텝 입력가능

  • 3초당 최대 3,000RPM 가속 가감

  • 급정지시 위치제어 기능 탁월

  • 저속고속 RPM에도 안정적으로 코팅

  • 관리비용(Running Cost) 저렴

  • 콤팩트한 설계로 유지보수 및 A/S간단

 

인터락 세이프티 (Inter Lock Safety) 기능 스핀코터 : ISC-4

  • 푸시버튼센서를 통하여 커버가 닫혀있는 상태에서만 동작가능

  • 커버를 오픈할경우에는 Spin 기능 자동정지 (Start 기능도 잠김) 하여 안전기능 강화.

  • 전원차단상태가 아닌 회전동작만 정지할 수있도록 프로그래밍화




Technical Specifications (기술 사양)

초 정밀 그래픽모드 스핀코터 ( Spin coater ) : ACE-200 (컴팩트형)

Specification : 글로브 박스에 적용에도 최적. 

Wafer size(Max.)

piece to 4" diameter, 6"

Bowl size

235 m/m diameter

Bowl material

SUS (option: P.P, Tefelon, etc)

Special DC Motor

Up & Down free

Step

100 step

Memory storage

100 program

Rotation Speed

0 to 50 ~ 8,000 rpm

Hold Time

1~999sec

Accuracy

± 1 R.P.M

acceleration, deceleration free

1~ 3000 R.P.M/sec

Graphic Fuction

Real time for steps (스핀구동 그래픽으로구현)

Power Input

AC 220V, 50/60Hz

Vacuum Input

-450~-650mmHg (5mm ID / 8mm OD)

Display

LCD (Back Light)

System Controller

MCU (Digital Microprocess)

Motor

BLDC SERVO MOTOR

Dimension (W X D X H)

320 X 420 X 240 mm


초 정밀 그래픽모드 중형 스핀코터(Spin coater) : Top-8

Wafer size(Max.)

1/2 ~ 8" diameter (piece to 8 inch)

Bowl size

390 m/m diameter

Bowl material

SUS (option: P.P, Tefelon, etc)

Special DC Motor

Up & Down free

Step

100 step

Memory storage

100 program

Rotation Speed

0 to 50 ~ 5,000 rpm

Hold Time

1~999sec

Accuracy

± 1 R.P.M

acceleration, deceleration free

1~ 3000 R.P.M/3sec

Graphic Fuction

Real time for steps (스핀구동 그래픽으로구현)

Power Input

AC 220V, 50/60Hz

Vacuum Input

-450~-650mmHg (5mm ID / 8mm OD)

Display

LCD (Back Light)

System Controller

MCU (Digital Microprocess)

Motor

BLDC SERVO MOTOR

Dimension (W X D X H)

540 X 440 X 260 mm


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