첨단 기술과 경쟁력 있는 가격으로 세계 반도체 분야 리드한다!
동아 무역의 초정밀 ‘스핀코터’ ACE-200 첨단 기술력 국내외에서 인정!

“대한민국 특허청으로부터 실시간 그래픽 구현 기술로 특허를 획득한 ACE-200은 스핀코터에 셋팅 시킨 R.P.M(분당회전속도) 수치와 실제로 돌아가는 R.P.M을 그래픽으로 확인할 수 있어 코팅의 데이터를 쉽게 얻을 수 있는 초정밀 기술 분야에서는 세계 최초의 입니다” 반도체 LCD용 연구 장비 전문 제조업체인 동아무역 이현재 대표의 말이다.

스핀코터는 반도체 웨이퍼(원판)나 디스플레이 연구 시 시료 등 화학 물질의 균일 코팅에 필수 장비로 동아무역에서 10억 원을 들여 연구 개발한 초정밀 스핀코터 (spin coater) ACE-200은 세계 최초로 특허를 받은 반도체 LCD용 연구 장비로 국내만 연간 300억~ 500억 원의 시장을 형성하고 있다.

성능 면에서 외국산보다 우수하다고 소문나 있는 스핀코터 ACE-200의 가격은 수입품의 절반에 불과하다는 점, 인쇄회로기판(PCB) 보드 하나로 동작을 제어하기 때문에 문제가 발생해도 수리가 간단해 외산 장비들이 문제가 생길 경우 수개월간 연구를 중단해야 하는 폐단을 없앴다는 점이 큰 장점으로 손꼽힌다. 이는 그 동안의 축적된 기술과 경험을 바탕으로 품질향상과 제품에 책임을 지는 서비스를 제공하기 위해 끊임없이 노력해 온 결과이기도 하다.

초정밀 스핀코터 ‘모델명 ACE-200’의 그래픽과 수치로 코팅과정을 확인할 수 있는 정확도가 1RPM(분당 회전속도) 수준이며, 코팅의 정확도가 세계정상급인 ±1 R.P.M인 점 등이 좋은 평가를 받고 있는 이유다. 연구용 스핀코터(ACE Series, Top Series)는 삼성, LG등의 대기업과 중소기업, 벤처기업, KAIST를 비롯한 각 대학의 학부 및 대학원에도 공급되고 있으며 미국 일본 중국 등 해외 20여 개국의 대리점과 글로벌 네트워크를 통해 사업협력이 성과를 내면서 올 들어 매달 100 여대 가량을 수출하는 등 가시적인 성과를 거두고 있다.


동아무역은2008년 11월에 기존 제품을 한 단계 업그레이드 시킨 초정밀스핀코터 ACE-200(4인치 이하)을 개발한 이후 2009년 4월엔 국내 스핀코터 산업계의 숙원이라 할 수 있는 초정밀 대형 스핀코터 TOP-8(8인치 이하)을 개발하여 국내는 물론 해외 시장에서도 큰 호응을 얻고 있으며 2009년 8월 안양대학교와 산학협정을 체결하고, 산업발전에 필요한 전문기술 인력의 교육훈련을 강화하고 기술개발을 통한 상호발전을 도모하고 있다.

이현재 대표는 “지난 2009년 9월 지식경제부가 주관하는 수출유망 중소기업에 선정된 이후 국내 선점은 물론 해외수출도 가속도를 내고 있으며 스핀코터에서 닦은 기술력을 바탕으로 스핀클리너, 박리기 등 다양한 연구 장비를 개발해 사업포트폴리오를 다양하게 확대, 연간 매출 100억을 넘어 200억 시대를 열겠다”는 포부를 밝혔다.

(반도체- LCD- PDP-신소재 연구 장비 전문 제조업체 02) 868-8787 동아무역 www.spincoater.kr)

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세계 최초 특허 그래픽 스핀코터!

경쟁력 있는 가격과 첨단 기술로 세계 반도체 분야 이끌다!

동아 무역의 초정밀 '스핀코터'의 첨단 기술력 국내외에서 호평!

"한국 특허청으로부터 실시간 그래픽 구현 기술로 특허를 획득한 ACE-200은 스핀코터에 셋팅 시킨 R.P.M(분당회전속도) 수치와 실제로 돌아가는 R.P.M을 그래픽으로 확인할 수 있는 첨단 기술을 개발했는데 코팅의 데이터를 쉽게 얻을 수 있는 초정밀 반도체 기술 분야에서는 세계 최초"라고 반도체 LCD용 첨단 연구 장비 전문 제조업체인 동아무역 이현재 대표는 말한다.

스핀코터는 반도체 웨이퍼(원판)나 디스플레이 연구 시 시료 등 화학 물질의 균일 코팅에 쓰이는 필수 장비로 동아무역에서 10억 원을 들여 연구 개발한 초정밀 스핀코터(spin coater) ACE-200은 세계 최초로 특허를 받은 반도체 LCD용 연구 장비로 국내만 연간 300억∼500억 원의 시장을 형성하고 있다.

스핀코터 ACE-200의 가격은 수입품의 절반에 불과하다는 점과 성능 면에서 외국산보다 우수하다고 호평 받고 있는 상황으로, 인쇄회로기판(PCB) 보드 하나로 동작을 제어하기 때문에 문제가 발생해도 수리가 간단해 외산 장비들이 문제가 생길 경우 수개월간 연구를 중단해야 하는 폐단을 없앴다는 점이 큰 장점으로 손꼽힌다. 이는 그 동안의 축적된 기술과 경험을 바탕으로 품질향상과 제품에 책임을 지는 서비스를 제공하기 위해 끊임없이 노력해 온 결과로 볼 수 있다.

초정밀 스핀코터(모델명 ACE-200)는 그래픽과 수치로 코팅과정을 확인할 수 있는 정확도가 1RPM(분당 회전속도) 수준이며, 코팅의 정확도가 세계정상급인 ±1 R.P.M인 점 등이 좋은 평가를 받고 있는 이유다. 연구용 스핀코터(ACE Series, Top Series)는 삼성, LG등의 대기업과 중소기업, 벤처기업, KAIST를 비롯한 각 대학의 학부 및 대학원에도 공급되고 있으며 미국 일본 중국 등 해외 20여 개국의 대리점과 글로벌 네트워크를 통해 사업협력이 성과를 내면서 올 들어 매달 100 여대 가량을 수출하는 등 가시적인 성과를 거두고 있다.

동아무역은 2008년 11월에 기존 제품을 한 단계 업그레이드 시킨 초정밀 스핀코터(ACE-200,4인치 이하)를 개발한 이후 2009년 4월엔 국내 스핀코터 산업계의 숙원이라 할 수 있는 초정밀 대형 스핀코터(TOP-8,8인치 이하)를 개발하여 국내는 물론 해외 시장에서도 큰 호응을 얻고 있으며 산학협정을 2009년 8월 안양대학교와 체결하고, 기술개발을 통한 상호발전을 도모하고 산업발전에 필요한 전문기술 인력의 교육훈련을 강화하고 있다.

이현재 대표는 "지난 2009년 9월 지식경제부가 주관하는 수출유망 중소기업에 선정된 이후 국내 반도체 LCD용 첨단 연구 장비 분야의 리더로서 해외수출도 가속도를 내고 있으며 스핀코터에서 닦은 기술력을 바탕으로 스핀클리너, 박리기 등 다양한 연구 장비를 개발해 사업포트폴리오를 다양하게 확대, 연간 매출 100억을 넘어 200억 시대를 열겠다"는 포부를 밝혔다.(반도체 LCD용 연구 장비 전문 제조업체 02)868-8787 동아무역www.spincoater.kr)

특허내용:스핀 코터, 스핀 코터 구동 방법, 및 상기 방법을 수행하는 컴퓨터프로그램을 기록한 기록매체
Spin coater and spin coater operating method and recording media for computer program therefor

IPC 코드
H01L 21/027 (2006.01)
출원번호
1020090014606 (2009.02.23)
등록번호
100936100 (2009.12.31)
발명자/고안자
이현재

진행 상태

대표청구항
상부에 웨이퍼를 안착시키는 회전 안착부;

청구항
청구항 1항
상부에 웨이퍼를 안착시키는 회전 안착부;

청구항 2항
제어신호에 응답하여 상기 회전 안착부를 회전시키는 모터; 및

청구항 3항
적어도 하나의 스텝별 구동 데이터를 포함하는 모터 구동정보에 기초하여 상기 제어신호를 발생하는 컨트롤러를 포함하며, 상기 컨트롤러는,

청구항 4항
모드 선택신호에 기초하여 상기 모터의 실시간 구동정보를 그래픽 또는 텍스트로 출력하는 스핀 코터.

청구항 5항
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 스텝별 구동 데이터는,

청구항 6항
상기 모터의 회전수, 입력전압, 출력전압, 상기 스텝의 지속시간, 상기 모터의 가속도 및 과부하 허용 오차 중에서 적어도 어느 하나를 포함하는 스핀 코터.

청구항 7항
제1항에 있어서, 상기 컨트롤러는,

청구항 8항
사용자에 따라 서로 다르게 입력되는 상기 모터 구동정보를 저장하는 스핀코터.

청구항 9항
제1항에 있어서, 상기 모드 선택신호는,

청구항 10항
제1 모드 선택신호 또는 제2 모드 선택신호를 포함하며, 상기 컨트롤러는,

청구항 11항
상기 제1 모드 선택신호에 응답하여 상기 모터 구동정보와 상기 실시간 구동정보를 각각 그래픽화하여 동시에 출력하고,

청구항 12항
상기 제2 모드 선택신호에 응답하여 상기 모터 구동정보와 상기 실시간 구동정보를 각각 텍스트화하여 동시에 출력하는 스핀 코터.

청구항 13항
제1항에 있어서, 상기 스핀코터는,

청구항 14항
상기 웨이퍼의 위치정보를 센싱하는 위치센서를 더 포함하며,

청구항 15항
상기 컨트롤러는, 상기 스핀 코터의 구동이 끝난 경우 상기 위치정보에 기초하여 상기 웨이퍼의 위치를 제어하는 스핀 코터.

청구항 16항
제1항에 있어서, 상기 컨트롤러는,

청구항 17항
상기 모터의 실시간 구동정보에 의해서 파악되는 실시간 구동 데이터와 상기 적어도 하나의 스텝별 구동 데이터를 비교하고 비교결과에 기초하여 미리 정해진 허용 오차를 벗어나는 경우, 상기 스핀 코터의 동작을 중지시키는 스핀 코터.

청구항 18항
제1항에 있어서, 상기 모터는,

청구항 19항
BLDC모터 또는 AC,DC모터 중에서 어느 하나인 스핀코터(spin coater).

청구항 20항
제1항에 있어서, 상기 스핀코터(spin coater)는,

청구항 21항
상기 모터를 구동시키는 모터 구동부;

청구항 22항
상기 그래픽 또는 상기 텍스트를 디스플레이하는 디스플레이부; 및

청구항 23항
사용자로부터 상기 적어도 하나의 스텝별 구동 데이터를 포함하는 모터 구동정보를 수신하고 수신된 모터 구동정보를 상기 컨트롤러로 전송하는 사용자 키 입력부를 더 포함하며, 상기 모터 구동부, 상기 디스플레이부의 구동소자, 상기 키입력부, 및 상기 컨트롤러는 하나의 보드에 구현되는 스핀 코터.

청구항 24항
적어도 하나의 스텝별 구동 데이터를 포함하는 모터 구동정보를 수신하는 단계;

청구항 25항
상기 모터 구동정보와 상응하는 제어신호를 발생하는 단계;

청구항 26항
상기 제어신호에 기초하여 모터를 구동시키는 단계; 및

청구항 27항
모드 선택신호에 기초하여 상기 모터의 실시간 구동정보를 그래픽 또는 텍스트로 출력하는 단계를 포함하는 스핀 코터 구동 방법.

청구항 28항
제9항에 있어서, 상기 적어도 하나의 스텝별 구동 데이터는,

청구항 29항
상기 모터의 회전수, 입력전압, 출력전압, 상기 스텝의 지속시간, 상기 모터의 가속도 및 과부하 허용 오차 중에서 적어도 어느 하나를 포함하는 스핀 코터 구동 방법.

청구항 30항
제9항에 있어서, 상기 모드 선택신호는,

청구항 31항
제1 모드 선택신호 또는 제2 모드 선택신호를 포함하며, 상기 그래픽 또는 상기 텍스트로 출력하는 단계는,

청구항 32항
상기 제1 모드 선택신호에 응답하여 상기 모터 구동정보와 상기 실시간 구동정보를 각각 그래픽화하여 동시에 출력하는 단계; 및

청구항 33항
상기 제2 모드 선택신호에 응답하여 상기 모터 구동정보와 상기 실시간 구동정보를 각각 텍스트화하여 동시에 출력하는 단계를 더 포함하는 스핀 코터 구동 방법.

청구항 34항
제9항에 있어서, 상기 스핀 코터 구동 방법은,

청구항 35항
상기 스핀 코터의 구동이 끝난 경우 위치센서에 의해서 센싱된 위치정보에 기초하여 상기 웨이퍼의 위치를 제어하는 단계를 더 포함하는 스핀 코터 구동 방법.

청구항 36항
제9항에 있어서, 상기 스핀코터 구동 방법은,

청구항 37항
상기 모터의 실시간 구동정보에 의해서 파악되는 실시간 구동 데이터와 상기 적어도 하나의 스텝별 구동 데이터를 비교하는 비교단계; 및

청구항 38항
상기 비교단계의 비교결과에 기초하여 상기 비교결과가 미리 정해진 허용 오차를 벗어나는 경우, 상기 스핀 코터의 동작을 중지시키는 단계를 더 포함하는 스핀코터 구동 방법.

청구항 39항
제9항에 있어서, 상기 모터는,

청구항 40항
BLDC모터 또는 ADC모터 중에서 어느 하나인 스핀코터 구동 방법.

청구항 41항
제9항 내지 제14항 중의 어느 한 항에 기재된 방법을 실행하기 위한 프로그램을 기록한 기록매체.

요약
스핀코터, 스핀코터 구동 방법, 및 상기 방법을 수행하는 컴퓨터프로그램을 기록한 기록매체가 개시된다.
상기 스핀 코터는 상부에 웨이퍼를 안착시키는 회전 안착부; 제어신호에 응답하여 상기 회전 안착부를 회전시키는 모터; 및 적어도 하나의 스텝별 구동 데이터를 포함하는 모터 구동정보에 기초하여 상기 제어신호를 발생하는 컨트롤러를 포함하며, 상기 컨트롤러는, 모드 선택신호에 기초하여 상기 모터의 실시간 구동정보를 그래픽 또는 텍스트로 출력할 수 있다.
본 발명에 의한 스핀 코터는 사용자의 선택에 따라 적응적으로 동작 가능하고,
사용자는 스핀 코터의 동작 상황 정보를 그래픽 또는 텍스트로 편리하게 제공받을 수 있는 효과가 있다.