에처/디벨러퍼(소형 에칭 및 현상 장치)

NE-7000 에처/디벨러퍼(소형 에칭 및 현상 장치) HOME

특징

저가, 고해상도

액정 터치판넬, 프로그램 입력

테플론 챔버

강산, 강알칼리 대응

용도: Si, GaAs wafer, 세라믹, 글래스 기판의 에칭 현상처리를 얼룩없이 깨끗하게 처리함.(원형 8 inch, 각형기판 6 inch)

사양

테프론 챔버; 각변 150mm 사각형, 200mm 원형 기판 처리

노즐의 스윙각도, 스피드 조절

프로그램 스텝; 24 스텝, 10 모드

옵션

2 chemical 형, 3 chemical 형

Thermal circulator ( control 30~60 C)

케미칼 가압 탱크

N2 블로우

폐액 수거 유니트

미스트 트랩

진공 펌프